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电子特气的净化尤为重要

    电子特气广泛应用于半导体、微电子和关联的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜堆积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、维护气氛等等。因为半导体和微电子技能向更高功能、更高集成度开展,对电子特气的纯度提出了越来越高的需求,电子特气的净化尤为重要。

    目前国内的超高纯度净化技能首要依靠进口,本身的技能水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大距离。本项目将描绘和研制一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新式纳米净化剂,对MO源、惰性气体、氢化物气体、反响性气体、腐蚀性气体等5个系列,50多种电子特气进行结尾净化,使电子特气纯度由ppm级进步到ppb、ppt级,并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小,然后极大地改进工艺才能,下降产物缺点, 进步制程的产值,满意下一代半导体、微电子以及关联高技能开展的需求。本项目将构成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技能,处理超高纯度电子特气净化这一核心技能的国产化问题。 

    山东言赫专业经营淄博万达利特种气体公司生产的氯化氢气体是在淄博齐鲁石化工业园区注册的高新科技企业,淄博万达利直属于北京华宇同方,主要从事新材料技术和化工新技术的研发,以及高新技术产品的生产和销售。研发的沸石催化剂及其应用技术处于世界先进水平.生产的“华宇同方”牌高纯氯化氢产品与国际知名品牌的性能相当,为半导体器件制造业、光伏产业和医药工业提供了充足的优质原材料。

发布时间:2018-12-12 09:23:12