氯化氢

    高纯氯化氢的纯度99.999％。无色气体，对人体皮肤产生强烈刺激，有令人窒息的刺激性臭味。TLV5×10-6。气体密度1.522kg/m3(21.1℃)；液体密度842kg/m3(21.1℃)。沸点-85℃。熔点-114.2℃。极易被水吸收，生成强腐蚀性盐酸；极易在乙醇和乙醚中分解，与许多有机物质反应迅速。

    制法主要有两种，一种是采用纯氯和纯氢燃烧反应，合成氯化氢气体、经催化转化，吸附、精馏提纯；一种是以工业氯化氢为原料，经吸附，低温精馏提纯，冷凝液化充瓶。

    高纯氯化氢用于电子工业中外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀，清除钠离子；还用于金属表面化学处理；激光用混合气，胶片生产及碳纤维表面处理。