电子级HCI气体的国产化已是大势所趋
近几年来,随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子级氯化氢气体的国产化已是大势所趋。
我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯氯化氢已成功打开国内市场。
高纯氨作为电子工业中氮化膜的成膜气体,是化学气相沉积(CVD)重要的“氮”源。
研究设计院介绍说,2010年,国产高纯氨在太阳能领域发挥了巨大的作用。由于国产高氨进入市场,改变了国外气体公司垄断市场的局面。