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高纯氯化氢是集成电路生产中各项工艺的重要材料
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高纯氯化氢是集成电路生产中各项工艺的重要材料
作者:山东言赫小编 发布时间:2015-07-13 09:49:09
淄博言赫特种气体公司主营“华宇同方”牌高纯氯化氢,其产品性能优越,质量稳定,价格合理。在氯化氢市场占据了一席之地,也受到了广大客服的支持与认可。
高纯氯化氢是集成电路生产中硅片蚀刻,钝化和外延等工艺的重要材料,也可用于金属冶炼,光导通讯和科学研究等领域。随着大规模集成电路的发展,对氯化氢纯度的要求越来越高,对其中杂质的含量要求越来越苛刻,尤其要求严格限制碳氢化合物和碳氧化合物的含量,以防止硅片加工过程中c的形成。国内外对于制备高纯氯化氢的方法有很多。今天跟大家简单介绍一下其中的盐酸脱析法的工艺流程:
盐酸脱析法。将浓盐酸置于脱析塔中加热脱析制氯化氢气体。盐酸脱吸法制高纯氯化氢广泛应用于PVC、氯丁二烯和高纯盐酸等的生产中。此种方法生产的氯化氢气体纯度在99.9% (质量分数)以上。
其工艺流程为:将浓盐酸贮槽之浓酸用浓酸泵打至脱吸塔,脱吸塔下部连接再沸器,浓酸自塔顶喷淋而下,与来自再沸器的稀酸蒸气逆流传质传热,使氯化氢脱吸。所得之恒沸酸一部分补充再沸器的循环,一部分则经板式冷却器后流入稀酸贮槽。由脱吸塔出来的含水蒸气氯化氢气体,进人石墨列管冷却器用水冷却后经过旋风分离器,分离出夹带酸雾。然后,经过一系列的常温、低温干燥、吸附除水及二氧化碳,压缩至1.2MPa,进行低温精馏,再经低温吸附除氮后压缩至4.2MPa,装瓶。
我公司现有年产2000吨高纯氯化氢生产线,连续批量生产应用于单晶硅外延片制造的5N(99.999%)电子级(VLSI)氯化氢,以及应用于医药中间体、农药及精细化学品制造的2.8N(99.8%)化学级氯化氢气体。产品性能先进,质量稳定,处于国内领先地位,达到国际先进水平。
高纯氯化氢是集成电路生产中硅片蚀刻,钝化和外延等工艺的重要材料,也可用于金属冶炼,光导通讯和科学研究等领域。随着大规模集成电路的发展,对氯化氢纯度的要求越来越高,对其中杂质的含量要求越来越苛刻,尤其要求严格限制碳氢化合物和碳氧化合物的含量,以防止硅片加工过程中c的形成。国内外对于制备高纯氯化氢的方法有很多。今天跟大家简单介绍一下其中的盐酸脱析法的工艺流程:
盐酸脱析法。将浓盐酸置于脱析塔中加热脱析制氯化氢气体。盐酸脱吸法制高纯氯化氢广泛应用于PVC、氯丁二烯和高纯盐酸等的生产中。此种方法生产的氯化氢气体纯度在99.9% (质量分数)以上。
其工艺流程为:将浓盐酸贮槽之浓酸用浓酸泵打至脱吸塔,脱吸塔下部连接再沸器,浓酸自塔顶喷淋而下,与来自再沸器的稀酸蒸气逆流传质传热,使氯化氢脱吸。所得之恒沸酸一部分补充再沸器的循环,一部分则经板式冷却器后流入稀酸贮槽。由脱吸塔出来的含水蒸气氯化氢气体,进人石墨列管冷却器用水冷却后经过旋风分离器,分离出夹带酸雾。然后,经过一系列的常温、低温干燥、吸附除水及二氧化碳,压缩至1.2MPa,进行低温精馏,再经低温吸附除氮后压缩至4.2MPa,装瓶。
我公司现有年产2000吨高纯氯化氢生产线,连续批量生产应用于单晶硅外延片制造的5N(99.999%)电子级(VLSI)氯化氢,以及应用于医药中间体、农药及精细化学品制造的2.8N(99.8%)化学级氯化氢气体。产品性能先进,质量稳定,处于国内领先地位,达到国际先进水平。